Пилипенко, Владимир Александрович
Владимир Александрович Пилипенко (род. 18 июля 1949, Мозырь) — советский и белорусский физик. Член-корреспондент Национальной академии наук Беларуси (2000), доктор технических наук (1991), профессор (1995). БиографияВладимир Александрович Пилипенко родился 18 июля 1949 года в г. Мозыре Гомельской области в семье служащих, по национальности — белорус. В 1966 году с серебряной медалью окончил среднюю школу № 4 в г. Мозыре и поступил на первый курс физического факультета отделения радиофизики и электроники Белорусского государственного университета им. В. И. Ленина. В 1971 году окончил данный факультет и был направлен на работу в СКТБ завода полупроводниковых приборов им. Ф. Э. Дзержинского, где прошёл путь от инженера до заместителя директора Государственного центра «Белмикроанализ» научно-технического центра «Белмикросистемы» ОАО «Интеграл». В 1981 году после окончания заочной аспирантуры защитил кандидатскую диссертацию по специальности твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование. В 1990 году защитил докторскую диссертацию по специальности твердотельная электроника и микроэлектроника. С 1981 года по совместительству работает в Белорусском государственном университете в качестве преподавателя. В 1995 году получил звание профессора, где и сейчас работает по совместительству профессором. В 2000 году избран член-корреспондентом НАН Беларуси. В настоящее время является председателем экспертного совета ВАК РБ; заместителем председателя Совета по защите диссертаций Д 02.01.16 в БГУ; членом Государственного экспертного совета «Открытые конкурсы отдельных научных исследований» ГКНТ; членом НТС по подпрограмме «Микроэлектроника электронной элементной базы» программы «Микроэлектроника 2016—2020 г. г.»; членом наблюдательного совета ОАО «ИНТЕГРАЛ»; членом НТС по ГНТП «Оптиэл» в Институте физики НАН Беларуси; членом нанотехнологического общества России; членом Совета физического факультета БГУ; членом бюро правления Белорусского физического общества; членом редколлегий журналов «Доклады БГУИР» и «Приборы и методы измерений»; членом Международного института инженеров по электротехнике и электронике (IEEE, Нью-Йорк, США); включение в списки изданий Американского биографического института (США). Состав семьи: Пилипенко Елена Никитична — жена, 1949 года рождения, пенсионерка; Дочь — Корниевич Наталья Владимировна, 1972 года рождения, начальник отдела ОАО «ИНТЕГРАЛ»; Дочь — Пилипенко Ирина Владимировна, 1978 года рождения, ведущий специалист по организации автомобильных перевозок частного транспортного унитарного предприятия «Калгер». Отец — Пилипенко Александр Иванович (1919 — 27 февраля 2000), работал на партийной и советской работе, инвалид Великой Отечественной войны 2-й группы. Мать — Хренова Лидия Андреевна (1924 — 6 февраля 2014), врач. Награды и достиженияВ 1997 году за активную деятельность по выполнению научно-технической программы «Белэлектроника» и организацию работы Государственного экспертного совета по радиоэлектронике, приборостроению и вычислительной технике был награждён почётной грамотой ГКНТ, а в 2004 году за активную работу по подготовке и аттестации научных и научно-педагогических кадров высшей квалификации — почётной грамотой ВАК РБ. В 2000 году с коллективом сотрудников института физики НАН Беларуси с научной работой «Разработка аппаратуры и методов лазерной очистки художественных произведений из металла» стал победителем конкурса в отделении физики, математики и информатики НАН Беларуси за лучшую работу в области научно-технических разработок и практического использования результатов исследований в народном хозяйстве Республики Беларусь. В 2008 году в связи с 80-летием НАН Беларуси был награждён медалью 80 лет Национальной академии наук Беларуси, а в 2014 году памятным знаком «В честь основания Национальной академии наук Беларуси». За многолетнюю активную работу в системе подготовки и аттестации научных кадров высшей квалификации 2010 году была объявлена благодарность, а в 2018 году вручена почётная грамота от председателя высшей аттестационной комиссии республики Беларусь. В 2010 году Международным биографическим центром (Кембридж, Англия) включён в информационный справочник «2000 Выдающихся Интеллектуалов 21-го Века». За цикл работ «Фазовые и структурные модификации поверхностных слоёв и плёнок в технологии полупроводниковых приборов и СБИС» в 2011 году стал лауреатом премии академий наук Украины, Беларуси и Молдовы. В связи с 50-м ОАО «ИНТЕГРАЛ» в 2013 году за большой вклад в развитие научных исследований и разработку технологии создания интегральных микросхем на базе быстрых термических обработок была объявлена благодарность от председателя президиума НАН Беларуси, а в 2015 году за значительный личный вклад в развитие науки и инновационной деятельности была вручена грамота министерства образования Республики Беларусь. Научная деятельностьВ. А. Пилипенко — известный учёный в области материаловедения, микро- и наноэлектроники. По инициативе и под руководством В. А. Пилипенко в конце 1970-х годов начались исследования в области управляемой модификации свойств полупроводников, тонких плёнок металлов и диэлектриков путём воздействия на них мощными импульсами светового потока с использованием как лазерных, так и ламповых источников излучения. Выполнены пионерские работы по изучению возможности применения таких обработок для целей микроэлектроники. Обнаружен ряд новых явлений: уменьшение энергии активации процесса окисления кремния на его начальном этапе в среде сухого кислорода при импульсной световой обработке в режиме теплового баланса; удвоение коэффициента диффузии примесей и отсутствие эффекта оттеснения базы эмиттером при твердофазной рекристаллизации ионнолегированных слоёв кремния под воздействием светового потока; формирование равновесной, термостабильной структуры легированных плёнок алюминия и их контакта к кремнию за счёт быстрой термической обработки плёнок после напыления при температуре, превышающей температуру последующих термообработок; одностадийное формирование дисилицида титана модификации С54 при быстрой термообработке в атмосфере азота, обусловленное диффузией титана в кремний на низкотемпературной стадии БТО и диффузией кремния в силицид, обогащённый титаном, на высокотемпературной стадии и ряд других. На основании полученных результатов им впервые установлено, что нагрев любого теплоизолированного материала световым излучением за время меньшее или равное времени установления в его объёме теплового баланса сопровождается уменьшением энергии активации изменения его структуры, фазового состава и электрофизических параметров. В. А. Пилипенко одним из первых начал исследования по изучению термических напряжений, возникающих в образцах при быстрой термической обработке. Им разработаны методы расчёта температурных режимов и определены оптимальные условия, обеспечивающие минимизацию величины возникающих термических напряжений, а также предложены аналитические модели, описывающие процессы оплавления легкоплавких стёкол, геттерирования, рекристаллизации плёнок алюминия и диффузионного синтеза дисилицида титана. На основании полученных теоретических и экспериментальных исследований им была разработана новая технология создания интегральных микросхем на базе быстрых термических обработок, не имеющая мировых аналогов и защищённая 20 авторскими свидетельствами СССР на изобретения, 4 авторскими свидетельствами РБ. Данная технология включает в себя отжиг ионнолегированных слоёв, оплавление легкоплавких стёкол, формирование термостабильной многослойной металлизации СБИС на основе алюминия, формирование силицидов тугоплавких и благородных металлов, геттерирование быстродиффундирующих примесей, окисление и другие процессы. В настоящее время технология, основанная на быстрых термических обработках, основы которой в 1980-е годы были заложены Пилипенко В. А., нашли широкое применение на ведущих микроэлектронных фирмах мира, выпускающих микросхемы с субмикронными нормами проектирования. На протяжении многих лет В. А. Пилипенко ведёт большую научную и научно-организационную работу. Он является членом научно-технических советов ОАО «ИНТЕГРАЛ» и Филиала НТЦ «Белмикросистемы» ОАО «ИНТЕГРАЛ»; членом комиссии по проведению конкурса «Отправь свою идею в космос», проводимого БГУ; упоминание Американским биографическим институтом (США); членом международного института инженеров по электротехнике и электронике (IEEE, Нью-Йорк, США), а также входит в ряд оргкомитетов международных научно-технических конференций. ПубликацииЗа время своей научной деятельности опубликовано 439 научных работ, как в нашей стране, так и за рубежом, в том числе 13 монографий, 38 авторских свидетельств, 7 патентов РБ и 2 патента Украины на изобретения. За изобретательскую деятельность награждён нагрудным знаком «Изобретатель СССР». Под его руководством 6 сотрудников НТЦ «Белмикросистемы» и других организаций защитили кандидатские диссертации. Экономический эффект от проведённых разработок составил более 5 млн долларов США.
ПримечанияИсточники
Ссылки
|
||||||||||||||||||||||
Portal di Ensiklopedia Dunia
