При зіткненні швидкої зарядженої частинки (іона) з ядром атома мішені, частинка втрачає енергію, передаючи її ядру. Втрати енергії залежать від кута розсіяння та від мас розсіяної частинки й ядра. Ці втрати описуються кінематичним фактором k[1]:
де та — енергії частинки до і після розсіяння, відповідно, та — маси частинки, що налітає на ядро, та маса ядра, відповідно, — кут розсіяння в лабораторній системі відліку.
Тож, в енергетичному спектрі частинок, що розсіялися назад на фіксований кут (°), спостерігаються піки, які відповідають різним масам ядер мішені. Оскільки частинки втрачають енергію не тільки при пружному зіткненні з ядрами мішені, а й іонізацію на шляху до зіткнення і після нього, уширення піків містить інформацію про глибину залягання атома розсіювача в зразку.