氮化钛 ,化学式TiN ,是一种合成陶瓷材料,极坚硬,其硬度接近于金刚石 。通常用作钛合金,钢,硬质合金和铝结构的涂层以改善表面性质。作为薄涂层,氮化钛用于硬化、保护切割和滑动表面,也可用于装饰目的,亦作为一种无毒的外部医疗植入物。在大多数应用中的涂层小于5微米 。
性质
维氏硬度:1800~2200
弹性模量:251GPa
热导率:19.2 W/(m·°C)
热膨胀系数:9.35×10-6 K-1
超导转变温:5.6 k
磁化率:+38×10-6 emu/mol[ 1] [ 2]
氮化钛在室温下是化学稳定但会被热浓酸侵蚀,在800℃常压下会被氧化。具有红外线 (IR)的反射特性,反射光谱类似于金的光谱,因此呈淡黄色。根据不同的基板材料和基材的表面光洁度,氮化钛的相对摩擦系数 约为0.4-0.9(无润滑)。其典型的晶体结构为氯化钠型(元素相对化学计量约为1:1),而TiNx复合物的热力学稳定系数x为0.6-1.2。[ 3] 全球首个超级绝缘材料亦是由冷却到接近绝对零度 的氮化钛薄膜制成的,其电阻在此条件下会迅速增加为之前的10万倍。[ 4]
应用
TiN涂层钻头
氮化钛涂层广泛用于金属边缘以保持机械模具的耐腐蚀性,如钻头和铣刀,常常由提高三个或更多的因素改善其寿命。由于其具有金属光泽,常用作服装和汽车装饰点缀。作为外层涂层,通常以镍 (Ni)或铬 (Cr)为镀基板,包装管道和门窗五金。该涂层也用在航空航天和军事方面,以及保护的自行车和摩托车的悬挂装置滑动面,甚至遥控玩具车的减震轴。由于该材料无毒的,符合FDA 规范,因此也常用于医疗器械,如保持手术刀刀片和骨科骨锯刀边缘的锐度[ 5] ,或直接作为植入假体和其他医学植入物。
氮化钛薄膜 可用于微电子 领域,作为有源器件和金属接点之间的导电阻挡层。而将薄膜扩散到金属硅 中,它的导电率 (30-70μΩ·cm)足以形成良好的导电连接。这种特殊的「阻挡金属」还具有陶瓷的化学或机械性能,该工艺大量用于当前的45纳米 芯片 设计中以提高晶体管 的性能。在电池 领域,通过将氮化钛与栅介质层(例如,HfSiO)组合,相比于标准的SiO2,可以提高介電係數 ,按比例缩小栅长度,低泄漏 ,较高的驱动电流,相同或更好的阈值电压 。[ 6]
较高的生物稳定性使得该合金应用领域延伸到了生物电子电极[ 7] ,如视网膜 下的假体项目[ 8] 和生物医学中的微电子机械系统(生物微机电)[ 9] ,使智能植入物或体内生物传感器能够承受严重的体液 腐蚀。
合成
氮化钛(TIN)涂层冲头使用阴极电弧沉积技术
最常用的氮化钛薄膜合成方法是物理气相沉积 法(PVD,通常有溅射沉积,阴极电弧沉积或电子束加热)和化学气相沉积 法(CVD)[ 10] 。两种方法都是将纯钛升华,并在高能量真空环境中与氮 气反应。亦可在高温下,由四氯化钛 -氮的混合气与氨-氢的混合气反应得到氮化钛,或是将钛-氢-氮混合气加热到高温通过石墨,冷却后沉积在基体材料上形成膜。
其他商业变种
一把氧氮化钛涂层的刀
在过去的十年中,有几种常用的氮化钛(金黃色)已经开发的变体,如:碳氮化钛(TiCN)(隨著碳含量增加,顏色變化紅棕~紫紅~灰黑~淺灰),氮化铝钛(TiAlN或AlTiN)(紫黑色)和钛铝碳氮化物(黑灰色),可单独或与氮化钛交替使用。这些涂层耐腐蚀性和硬度相近或更优。根据具体应用,颜色从浅灰色到近黑色,或者是暗的虹彩蓝紫色。这些涂料常见于体育用品,特别是刀和手枪。[ 11]
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参考资料
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