Кремній (14Si) має 23 відомі ізотопи з масовими числами від 22 до 44. 28Si (найпоширеніший ізотоп, 92,23 %), 29Si (4,67 %) і 30Si (3,1 %) стабільні. Найдовшеживучий радіоізотоп — 32Si, який утворюється розщепленням аргонукосмічними променями. Встановлено, що його період напівврозпаду становить приблизно 150 років (з енергією розпаду[en] 0,21 МеВ), і він розпадається бета-випромінюванням до 32P (період напіврозпаду якого становить 14,27 днів), а потім до 32S. Після 32Si 31Si має другий найдовший період напіврозпаду 157,3 хвилин. Усі інші мають період напіврозпаду менше 7 секунд.
Кремній-28, найпоширеніший ізотоп кремнію, представляє особливий інтерес для створення квантових комп'ютерів у високому збагаченні, оскільки присутність 29Si у зразку кремнію сприяє квантовій декогеренції.[4] Надзвичайно чисті (>99,9998 %) зразки 28Si можна отримати шляхом селективної іонізації та осадження[en]28Si із силану.[5] Завдяки надзвичайно високій чистоті, яку можна отримати таким чином, проєкт Авогадро[en] прагнув розробити нове визначення кілограма, зробивши сферу діаметром 93,75 мм (3,691 дюйм) з цього ізотопу та визначивши точну кількість атомів у зразку.[6][7]
Кремній-34 — радіоактивний ізотоп із періодом напіврозпаду 2,8 секунд. Крім звичайного Н = 20 закрита оболонка, ядро також показує сильний Z = 14 закриття оболонки, що змушує його поводитися як подвійне чарівне сферичне ядро, за винятком того, що воно також розташоване на два протони над островом інверсії[en].[10] Кремній-34 має незвичайну структуру «бульбашки», де розподіл протонів менш щільний у центрі, ніж біля поверхні, оскільки орбіталь протона 2s1/2 майже не зайнята в основному стані, на відміну від 36S, де вона майже повна.[11][12] Кремній-34 є однією з відомих частинок кластерного розпаду; він утворюється при розпаді 242Cm[en] з коефіцієнтом розгалуження приблизно 1×10−16.[13]