Уладзімір Аляксандравіч Піліпенка

Уладзімір Аляксандравіч Піліпенка (нар. 18 ліпеня 1949, Мазыр, Гомельская вобласць) — беларускі фізік. Член-карэспандэнт Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі (2000). Доктар тэхнічных навук (1991), прафесар (1995).

Скончыў Белдзяржуніверсітэт (1971).

З 1971 года інжынер, начальнік аддзела навукова-даследчага канструктарска-тэхналагічнага ўнітарнага прадпрыемства «Белмікрасістэмы» НВА «Інтэграл». З 1996 года намеснік дырэктара Дзяржаўнага цэнтра «Белмікрааналіз» НВА «Інтэграл»^[1].

Выканаў даследаванні ў галіне кіраванай мадыфікацыі уласцівасцяў паўправаднікоў, тонкіх плёнак металаў і дыэлектрыкаў. Выявіў эфекты, якія прыводзяць да паскарэння працэсаў мадыфікацыі ўласцівасцяў розных матэрыялаў пад уздзеяннем светлавых імпульсаў і прапанаваў механізмы іх узнікнення: падваенне каэфіцыента дыфузіі прымешак і адсутнасць эфекту адцяснення базы эмітэрам пры цвердафазнай рэкрышталізацыі иённалегіраваных слаёў крэмнія; фарміраванне раўнаважкай, тэрмастабільнай структуры легіраваных плёнак алюмінія і іх кантакту да крэмнію; аднастадыйнае фарміраванне дісіліцыда тытана. Распрацаваў метады разліку тэмпературных рэжымаў і вызначыў аптымальныя ўмовы, якія забяспечваюць мінімізацыю такіх высілкаў. Ажыццявіў мадэляванне працэсаў фарміравання розных тонкаплёнкавых сістэм з ужываннем хуткай тэрмічнай апрацоўкі: гетэравання, аплаўлення лёгкаплаўкіх шклоў, рэкрышталізацыі плёнак алюмінія, дыфузійнага сінтэзу сіліцыдаў розных металаў і інш распрацаваў тэхналогію стварэння інтэгральных мікрасхем на базе хуткіх тэрмічных апрацовак.

Аўтар каля 260 навуковых прац, у тым ліку 7 манаграфій, 40 вынаходстваў.

• Физические основы быстрой термообработки. Создание многоуровневой металлизации. Мн.: БГУ, 2000 (в соавт.).
• Физические основы быстрой термообработки. Геттерирование, отжиг ионолегированных слоев, БТО в технологии СБИС. Мн.: БГУ, 2001 (в соавт.).
• Физические основы быстрой термообработки. Отжиг поликристаллического кремния, диэлектрических пленок, очистка поверхности и эпитаксия. Мн., 2002 (в соавт.).
• Быстрые термообработки в технологии. СБИС. Мн.: Изд. центр БГУ, 2004.

• Уладзімір Аляксандравіч Піліпенка ў базе даных «История белорусской науки в лицах» Цэнтральнай навуковай бібліятэкі імя Якуба Коласа НАН Беларусі (руск.)